Микроэлектромеханическая система (MOEMS), которая объединяет микромеханическую электронную систему (MEMS) и оптическое устройство, заставляет оптическое устройство быстро развиваться в направлении миниатюризации. Использование технологии микрообработки позволяет получить высокую точность обработки и позволяет изготавливать различные приводы, оптические зеркала и оптические волноводы, интегрированные с полупроводниковыми лазерами, фотоэлектрическими устройствами обнаружения и т. Д. формировать активную оптико-электромеханическую систему, поэтому МОЭМС является перспективной областью применения МЭМС. По сравнению с ранними традиционными оптическими переключателями он может достигать отличных характеристик, таких как небольшие вносимые потери, короткое время переключения и низкое энергопотребление, а внешний вид небольшой. Его можно массово производить на зрелой производственной линии Ic, что значительно снижает стоимость.