Введение в MEMS

В то время как широкое использование микроэлектромеханических систем (EMES) в некоторых других отраслях не является чем-то новым, их внедрение для телекоммуникационных приложений появилось относительно недавно.

Обычный MEMS работает, отражая луч света от поверхности крошечного зеркала. МЭМС-системы имеют движущиеся части, и скорость, с которой движется зеркало, ограничена. Применяя больший ток, зеркало может двигаться быстрее, но есть ограничение на то, сколько тока может быть отправлено в массив зеркал. Если бы этого было недостаточно, кажется, что члены скорости и углового смещения при вычислении требуемого тока имеют целые степени около 4 или 5, и поэтому суть в том, что мы должны поместить много тока в массив для небольшого улучшения скорости. Изменив конструкцию зеркала таким образом, чтобы угол, через который изгибается свет, был меньше, можно добиться более высоких скоростей переключения. Этот метод известен как «быстрый MEMS».