Введение в MEMS

В то время как широкое использование микроэлектромеханических систем (EMES) в некоторых других отраслях не является чем-то новым, их внедрение в телекоммуникационных приложениях началось относительно недавно.

Обычные МЭМС работают, отражая луч света от поверхности крошечного зеркала. Системы MEMS имеют движущиеся части, и скорость, с которой движется зеркало, ограничена. При подаче большего тока зеркало может двигаться быстрее, но существует предел того, сколько тока может быть отправлено в массив зеркал. Если этого недостаточно, то кажется, что члены скорости и углового смещения при расчете требуемого тока имеют целые степени около 4 или 5, и поэтому суть в том, что мы должны вложить много тока в массив для небольшого улучшения скорости. Изменив конструкцию зеркала таким образом, чтобы угол, под которым изгибается свет, уменьшился, можно добиться более высокой скорости переключения. Этот метод известен как «быстрые MEMS».