Что такое MEMS? MEMS (микроэлектромеханическая система) относится к микроустройствам или системам, которые могут быть изготовлены серийно путем интеграции микрооборудования, микропривода, обработки сигналов и схемы управления. Процесс подготовки микромеханической структуры включает литографию, ионно-лучевое травление, химическое травление, склеивание пластин и т. Д. В то же время электроды подготавливаются на механической конструкции для управления с помощью электронной технологии.
MEMS - это своего рода микромоторная система. После подготовки микромеханической конструкции ее необходимо привести в движение с помощью электронной технологии. Типичные приводные механизмы включают электростатическое притяжение, электромагнитную силу, электрострикцию и термопару. Среди всех приводных механизмов МЭМС-устройств электростатическая притягивающая конструкция является наиболее широко используемой из-за ее простой подготовки, легкого управления и низкого энергопотребления.
Оптический переключатель MEMS предназначен для вырезания нескольких микролинз на кристалле кремния и вращения массива микрозеркал под действием электростатической силы или электромагнитной силы, чтобы изменить направление распространения входящего света для реализации функции включения-выключения оптического пути. Оптический переключатель MEMS переключает маршрут световой волны через внешнюю управляющую информацию и соответствующий высокий и низкий уровень, чтобы контролировать, поднимается ли внутренняя микролинза или нет.
_%E9%A1%B5%E9%9D%A2_01.jpg)
_%E9%A1%B5%E9%9D%A2_01.jpg)
