Что такое MEMS? MEMS (микроэлектромеханическая система) относится к микроустройствам или системам, которые могут быть изготовлены серийно путем интеграции микрооборудования, микропривода, обработки сигналов и схемы управления. Процесс подготовки микромеханической структуры включает в себя литографию, ионно-лучевое травление, химическое травление, склеивание пластин и т. д. В то же время электроды подготавливаются к механической структуре для управления с помощью электронных технологий.
МЭМС – это разновидность микромоторной системы. После подготовки микромеханической структуры ее необходимо привести в действие с помощью электронных технологий. Типичные приводные механизмы включают электростатическое притяжение, электромагнитную силу, электрострикцию и термопару. Среди всех приводных механизмов МЭМС-устройств наиболее широко используется электростатическая притягивающая структура из-за ее простоты изготовления, легкого управления и низкого энергопотребления.
Оптический переключатель MEMS предназначен для вырезания нескольких микролинз на кремниевом кристалле и заставляет микрозеркальную матрицу вращаться под действием электростатической или электромагнитной силы, чтобы изменить направление распространения входного света для реализации функции включения-выключения оптического пути. Оптический переключатель MEMS переключает направление световой волны через внешнюю управляющую информацию и соответствующий высокий и низкий уровень для управления тем, поднята ли внутренняя микролинза.
